RPS-SONIC: een maatstaf voor de industrialisatie van ultrasoon vernevelen van TCO-dunne films

In de golf van industrialisatie van TCO-technologie voor de voorbereiding van transparante geleidende films heeft RPS-SONIC, met zijn gerichte technologische onderzoek en ontwikkeling en op scenario's- gebaseerde ontwerp, zijn ultrasone verstuivingsspuitapparatuur tot een kernkeuze gemaakt in fotovoltaïsche zonne-energie, beeldschermen en constructie. Het voldoet niet alleen aan de kernvereisten van de industrie op het gebied van 'hoge lichttransmissie, lage plaatweerstand en groene efficiëntie', maar bevordert ook de overgang van de TCO-voorbereiding van dunne films van het laboratorium naar grootschalige productie-door nauwkeurige parametercontrole en stabiele werking.

RPS-SONIC ultrasone verstuivingsspuitapparatuur, gebaseerd op hoog-trillingsverstuivingstechnologie, heeft een gedifferentieerde productmatrix gevormd voor de TCO-voorbereiding van dunne films, waarbij de technologische kernkenmerken een bijzonder uitstekend aanpassingsvermogen aan de TCO-voorbereiding laten zien. De apparatuur maakt hoofdzakelijk gebruik van twee hoogfrequente trillingsschema's: 40 kHz en 60 kHz. Onder hen kan het op 40 kHz gefocuste ultrasone verstuivermondstuk, via een speciaal vernauwingsstroomkanaalontwerp, ervoor zorgen dat het draaggas de TCO-precursoroplossing (zoals ITO, AZO, FTO sol) uniform verzamelt en vernevelt tot uniforme druppels van 15-40 μm. De uniformiteitsfout in de druppelverdeling wordt binnen ±3% beperkt, wat perfect overeenkomt met de precieze diktevereisten van TCO-films van 10 nm-500 nm. Voor TCO-precursoroplossingen met lage-viscositeit (0 cps) bereikt de apparatuur een nauwkeurige stroomregeling van 0,5-20 ml/min. Gecombineerd met een instelbare spuithoogte van 30-80 mm en een lagedrukstroomgeleiderontwerp van 0,5 MPa, vermijdt het de druppelspattende problemen van traditioneel spuiten onder druk, terwijl een dichte afzetting van druppels op het substraatoppervlak wordt gegarandeerd. Dit resulteert in TCO-filmbladweerstandsschommelingen die binnen ± 5% worden gecontroleerd en de doorlaatbaarheid van zichtbaar licht wordt gestabiliseerd op 85% -95%, waardoor volledig wordt voldaan aan de prestatie-eisen van hoogwaardige toepassingen zoals fotovoltaïsche cellen en flexibele displays.

Voortbouwend op de kernvoordelen van TCO-filmvoorbereiding versterkt RPS-SONIC de industriële waarde van ultrasone verstuivingstechnologie verder. Ten eerste biedt de apparatuur aanzienlijke voordelen op het gebied van materiaalgebruik en kostenbeheersing. Door "drukloze verneveling" en een gericht spuitontwerp bereikt de benuttingsgraad van de TCO-precursoroplossing tot 90%, waardoor meer dan 80% op het materiaalverbruik wordt bespaard in vergelijking met traditionele magnetronsputterprocessen. Dit is vooral gunstig bij de vervaardiging van dunne ITO-films, waar indiumbronnen schaars zijn, omdat het verlies aan edelmetaal aanzienlijk wordt verminderd, waardoor de productiekosten voor bedrijven worden verlaagd. Ten tweede vertoont het een extreem sterke substraatcompatibiliteit. De apparatuur gebruikt tijdens het vernevelen een zeer lage kinetische energie van de druppels, wat een typisch bereidingsproces bij lage- temperaturen vertegenwoordigt. Dit maakt het niet alleen geschikt voor stijve substraten zoals glas en siliciumwafels, maar ook voor flexibele substraten zoals PET en PI. Dit lost de pijnpunten op van traditionele processen bij de flexibele TCO-dunnefilmvoorbereiding, die gemakkelijk leiden tot substraatvervorming en prestatievermindering, waardoor een betrouwbare oplossing wordt geboden voor de TCO-dunnefilmproductie op gebieden zoals flexibele OLED-schermen en draagbare apparaten. Ten derde combineert het schaalbaarheid en stabiliteit. De apparatuur ondersteunt meerdere-sproeierarrays, met een enkele spuitbreedte van 1-3 meter. Gecombineerd met een instelbaar vermogensontwerp van 10-100 W, kan het apparaat voldoen aan de behoeften van kleine-batch-R&D in laboratoria en aan de grootschalige productie van grootschalige apparaten zoals fotovoltaïsche modules en architectonisch glas. Bovendien heeft de apparatuur geen bewegende onderdelen die aan slijtage onderhevig zijn, en zijn de spuitmonden minder gevoelig voor verstopping, waardoor productiestilstand wordt verminderd en de stabiliteit van de continue productie wordt gewaarborgd.

Op het gebied van industriële toepassingen heeft RPS-SONIC ultrasone verstuivingsspuitapparatuur verschillende benchmarkcases op het gebied van TCO-dunne-filmvoorbereiding opgesteld. In de fotovoltaïsche industrie wordt de apparatuur gebruikt voor het spuiten van de AZO/TCO transparante geleidende laag van perovskietzonnecellen. Door de druppelgrootte en de afzettingssnelheid nauwkeurig te regelen, wordt de foto-elektrische conversie-efficiëntie van de cellen met 2-3 procentpunten verbeterd. Momenteel is het onderdeel van de 1GW-niveau perovskiet-silicium heterojunctie tandemcel-pilotlijn van een toonaangevend binnenlands fotovoltaïsch bedrijf, dat helpt grootschalige massaproductie te realiseren. Op het gebied van weergave kan de apparatuur er voor de vervaardiging van ITO/PET-composietfilms voor flexibele OLED-schermen nog steeds voor zorgen dat de veranderingssnelheid van de TCO-film minder dan 10% bedraagt ​​en de lichttransmissie boven 92% blijft op een flexibel substraat met een buigradius van 5 mm.

Dit helpt downstream-fabrikanten het rendement van flexibele schermen te verbeteren van 75% met traditionele processen naar 88%, waardoor het een kernapparatuurondersteuning wordt voor de keten van de flexibele display-industrie. Op het gebied van architectonisch slim glas wordt de apparatuur gebruikt voor het spuiten van AZO-transparante geleidende films voor elektrochroom glas, waardoor een diktefoutcontrole van ± 2 nm wordt bereikt. Dit resulteert in een elektrochrome reactiesnelheid van minder dan of gelijk aan 10 seconden en een levensduur van meer dan 100.000 cycli. Tegelijkertijd zorgen de hoge lichtdoorlatendheid en corrosiebestendigheid van de film voor een stabiele werking van het slimme glas op de lange- termijn, en is het toegepast bij de productie van slimme ramen in veel- hoogwaardige bouwprojecten in binnen- en buitenland. Bovendien beschikt de apparatuur van Hangzhou Gonglu over een uitzonderlijke veelzijdigheid, waardoor niet alleen de reguliere TCO-dunnefilmvoorbereiding mogelijk is, maar ook het composietspuiten van functionele films zoals anti-condens- en anti-corrosiecoatings met TCO-lagen. Het apparaat kan bijvoorbeeld tegelijkertijd een transparante FTO-geleidende laag en een aangroeiwerende coating op het oppervlak van fotovoltaïsch glas spuiten, waardoor de algehele prestaties van het apparaat verder worden verbeterd. In de toekomst, met de promotie van indium-vrije TCO-materialen (zoals AZO en GZO) en de integratie van AI-visuele inspectietechnologie, wordt verwacht dat de apparatuur van Hangzhou Gonglu nog hogere prestatiedoelen zal behalen, waaronder een lichttransmissie van meer dan 98% en een plaatweerstand van minder dan 5Ω/□, waardoor de vergroening en verfijning van de TCO-technologie voor de voorbereiding van dunne films voortdurend wordt gestimuleerd.

Als industriële benchmark op het gebied van ultrasoon verstuiven, biedt RPS-SONIC-apparatuur, met zijn nauwkeurige parametercontrole, stabiele werking en brede aanpasbaarheid van toepassingen, kernondersteuning voor de grootschalige, hoogwaardige productie van- TCO-transparante geleidende films. De technische oplossingen voldoen niet alleen aan de huidige ontwikkelingsbehoeften van de opto-elektronische industrie, maar zullen in de toekomst ook een cruciale rol spelen in technologische innovatie op opkomende gebieden zoals flexibele elektronica en nieuwe energie.